一种围坝胶检测方法

本发明公开了一种围坝胶检测方法，涉及晶圆涂布技术领域，包括以下步骤S1：数据采集，沿系统预设的围坝胶的横切面方向，对所述围坝胶的外轮廓每间隔设定间距h进行高度数据采集；S2：数据处理，包括对采集到的数据进行采样，将连续上升的采样点的首个高度作为a1，将连续下降的采样点的末尾采样高度作为an；S3：面积求和；S4：合格判断，总面积S大于预设面积，则为合格；总面积S小于预设面积，则为不合格，通过本发明的围坝胶的横截面的检测方法，可以非常精准、快速、高效的检测出围坝胶横截面的面积，以此作为判断围坝胶的涂胶量是否符合设计所需的胶量。