一种电子束闸的共轭消隐点自动调节方法

本发明公开了一种电子束闸的共轭消隐点自动调节方法，包括步骤：S1、在扫描电镜模式下将指定特征点移动到扫描图像的中心并放大；S2、将电子束闸从“半关断”状态切换到“打开”状态，并检测扫描图像中指定特征点的相对位移；将相对位移与预设阈值进行对比，当相对位移大于预设阈值时，则调节电子束闸前的聚焦透镜直至相对位移在预设阈值内。本发明自动完成共轭消隐点的调节流程，提升了电子光学柱的调试效率，进而加快电子束曝光工艺的测试，保证电子束曝光机的高效运行。