多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备
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多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备
申请号:
CN202410960519
申请日期:
2024-07-17
公开号:
CN118915396A
公开日期:
2024-11-08
类型:
发明专利
摘要
本发明一种多分镜头反倾斜直接帧化法及计算机设备,旨在解决多分镜头无掩膜光刻系统中数据处理路径长、处理单元要求高及实时性不足的问题,通过提出一种反倾斜直接帧化法,对各成像区域条带图形进行反倾斜处理,直接构造帧化矩形并进行多边形填充,最终合并为全区域帧图像,实现多分帧图像的实时生成,通过本发明的实施,减少了中间步骤,缩减了数据量和传输时间;优化了空间光调制器和数据处理单元的使用,减少了主机硬件的投入;提高了曝光响应时间和单位时间内的制程能力,增强了系统的实时性,提升了制程能力和曝光效率。
技术关键词
成像
填充算法
空间光调制器
无掩膜光刻系统
数据处理路径
计算机设备
条带
扫描线算法
像素
矩形
矩阵
多边形
数据处理单元
图像
处理器
制程
存储器
单路
坐标