电子显微镜自动对焦跟随处理方法、装置及其应用

本申请提出了电子显微镜自动对焦跟随处理方法、装置及其应用，包括对焦点选取：初始样品拍照，获取整张样品图像，将样品图像转换为灰度图，并识别样本区域，在样本区域内选择多个对焦点；粗对焦：选取一个中心附近的点作为粗对焦点，并从预设的极限位置开始逐步调整焦距直至找到清晰图像；细对焦：在粗对焦成功的基础上进一步微调对焦，以获得更清晰的图像；拟合平面：使用细对焦成功的对焦点的三维坐标拟合出一个平面，该平面上的点代表清晰对焦的位置；跟随模式：启动跟随模式，实时跟踪样本的移动；当样本的横坐标和/或纵坐标发生变化后，调整电子显微镜的z轴使其调整到相应位置以保持对焦清晰。可帮助用户快速定位到清晰的位置。