一种在线三维形貌精密测量方法及装置

本发明公开了一种在线三维形貌精密测量方法及装置，测量方法包括如下步骤：1)获取干涉图样；2)图样预处理，对干涉图样进行预处理提高图样质量；3)相位提取；采用相位数值重建方法获取干涉图样的相位分布，然后采用质量引导的相位解包裹算法进行相位解包裹，得到干涉图样的相位信息；4)三维重建；结合光学系统的参数信息将相位信息转换为被测物的三维表面形貌，然后采用计算机视觉技术，通过曲面拟合，对三维表面形貌进行优化，提高三维表面形貌的表面细节表示能力。本发明实现非接触测量的同时，测量快速精准，满足在线三维测量的需求，具有重要的应用价值和实际意义。