一种半导体工厂OHT系统虚拟环境建模方法

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一种半导体工厂OHT系统虚拟环境建模方法
申请号:CN202411439997
申请日期:2024-10-15
公开号:CN119477108A
公开日期:2025-02-18
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种半导体工厂OHT系统虚拟环境建模方法,属于半导体生产技术领域,包括如下步骤:数据收集与预处理:收集半导体工厂生产线的现场设施数据、OHT车辆的运行相关数据、产品信息数据,并分别进行预处理,得到基础数据;虚拟环境建模:根据所述基础数据构建虚拟环境模型;模拟与优化:基于前述构建的虚拟环境模型,进行模拟运行,并进行性能评估;然后根据模拟结果和性能评估情况,进行优化;结果验证与应用。本发明对OHT系统进行精确建模与仿真,优化OHT系统的配置和调度策略,不仅可以优化资源利用和降低成本,还能够增强系统的稳定性、可靠性和灵活性。
技术关键词
OHT系统 虚拟环境模型 建模方法 半导体 机器学习模型训练 数据 车辆 工作站 运输小车 地图 聚类算法 规划 参数 多指标 设施 基础 场景 对象 序列