一种晶体炉内压力智能控制方法及系统

本发明涉及智能控制技术领域，尤其涉及一种晶体炉内压力智能控制方法及系统。方法包括步骤：获取压力数据序列中各压力数据点的预设局部范围，得到局部范围中的极值点个数；计算压力数据序列中压力数据点的噪声表现程度；将压力数据点之间的距离作为权值，通过压力数据点的噪声表现程度对权值进行校正；在基于MST聚类离群检测算法中使用压力数据点之间的校正权值对压力数据序列进行去噪，将去噪后的压力数据序列输入PID算法，以实现晶体炉内压力的控制，有效地提高了晶体炉压力控制的准确性。