一种半导体测试方法

本发明涉及集成电路自动化测试设备领域，尤其涉及一种半导体测试方法。该方法包括在编译过程中，判断测试向量中指令周期数量是否固定；若所述测试向量中存在周期数量不固定的指令，则将周期数量不固定的指令按照固定次数来记录。通过将周期数量不固定的指令按照固定次数来记录，能够简化对测试向量中任意片段偏移的解析，从而大幅提高还原速度，减少AFM数据分析还原的耗时。