湿法清洗刷头及湿法清洗设备

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湿法清洗刷头及湿法清洗设备
申请号:CN202421264411
申请日期:2024-06-04
公开号:CN222568541U
公开日期:2025-03-07
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型提供一种湿法清洗刷头及湿法清洗设备。其中,所述湿法清洗刷头是将喷嘴与毛刷结合为一体,以使得所述喷嘴直接朝向所述毛刷喷射清洗液,实现对所述毛刷的快速润湿,避免了现有技术中毛刷无法与清洗液相接触的问题。且各个所述喷嘴是设置在储液箱底部的多个凹槽的槽内壁上,且所述毛刷的各束毛体设置在凹槽底部,则各个所述喷嘴能够直接相对各束毛体分布,从而可以针对性地深度清洗各自对应的毛体,不但清洗效果好,操作便捷,而且无需外置清洗装置,利于降低成本。
技术关键词
清洗刷头 湿法清洗设备 供液组件 清洗液 储液箱 外置清洗装置 压力阀 凹槽 清洗腔室 管道 机械臂 晶圆 开关 波浪形 通孔 线性 腔体 阵列 环形