一种多功能离心喷淋式芯片清洗机

本实用新型公开了一种多功能离心喷淋式芯片清洗机，属于芯片清洗设备技术领域，包括机架、外壳、离心甩干机构、清洗喷淋系统、热风切烘干过滤系统、自动加排液系统、循环过滤系统、清洗储液系统、缓存槽储液系统、FFU高效空气过滤器、控制面板、数显面板、配电箱、玻璃观察窗、底板、LED三色报警灯和排风口，通过近距离高压喷淋和高速甩干相结合的清洗方式，满足了多种细间距芯片的植球后清洗要求，设计的离心甩干及热风切烘干系统，使产品清洗完后直接进行烘干，省去外部烤箱烘烤的麻烦，提高生产效率，设计的循环过滤系统能实时对清洗液进行过滤，有效延长了清洗液的使用寿命，节约用量，降低使用成本。