一种基于掩模版网格化区域的亚像素图像处理方法及系统

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一种基于掩模版网格化区域的亚像素图像处理方法及系统
申请号:CN202510059926
申请日期:2025-01-14
公开号:CN119987127A
公开日期:2025-05-13
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种基于掩模版网格化区域的亚像素处理方法及系统,方法包括:S1、基于掩模版设计文件建立指定长宽的虚拟网格,以及将虚拟网格中的所有网格单元的灰度值初始化0,且每个网格单元的面积记为Sg;S2、将掩模版设计文件中所有的图形读取为相应的多边形并呈现于所述虚拟网格中的对应位置;S3、确定被多边形边界穿过的网格和完全处于多边形边界内部的网格,分别记为W1、W2;S4、计算W1处于多边形边界内部分的面积Sn,将W1的灰度值H设置为Sn与Sg的比值,其中,0<H<1;以及通过内部填充将W2的灰度值设置为1;S5、将计算得到的灰度值H存储为亚像素图像。本发明能够提高亚像素技术的实施效率。
技术关键词
网格化区域 多边形 图像处理方法 模版 光刻机控制系统 处理单元 亚像素技术 扫描线算法 图像处理装置 可读存储介质 格式 存储器 计算机 处理器 程序 指令 坐标
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