基于生成对抗网络改进的晶圆图识别方法及系统

本发明公开了基于生成对抗网络改进的晶圆图识别方法及系统，涉及半导体技术领域，该晶圆图识别方法包括以下步骤：利用预先配置的堆叠卷积层，增加轻量化分类模型的卷积层深度，并结合全局平均池化层优化轻量化分类模型；基于优化后的轻量化分类模型，构建卷积神经网络模型，将晶圆图图像作为输入，并训练卷积神经网络模型；基于训练后的卷积神经网络模型，对预先配置的生成对抗网络模型进行改进，构建深度卷积生成对抗网络模型，并通过深度卷积生成对抗网络模型对晶圆图图像进行识别。本发明通过优化轻量化分类模型、构建深度卷积生成对抗网络，可以解决数据不平衡问题，还可以防止过拟合。