一种低测试逃逸率的晶圆接受测试方法

本发明公开一种低测试逃逸率的晶圆接受测试方法，该方法具体如下：(1)从WAT电气参数中找出当前批次中对测试逃逸率影响大的关键WAT电气参数；(2)在对当前批次的测试晶圆进行晶圆接受测试时，测试待测晶圆上各晶粒的关键WAT电气参数，基于关键WAT电气参数进行异常晶粒的检测。先评估WAT电气参数特征对逃逸率的重要性，进位确定对逃逸率影响较大的关键WAT电气参数，对当前批次的待测晶圆仅测试关键WAT电气参数，不影响晶圆检测的逃逸率的同时，极大的降低待测晶圆的检测任务量。