MEMS气体传感器阵列的信号采集方法及系统

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MEMS气体传感器阵列的信号采集方法及系统
申请号:CN202510179124
申请日期:2025-02-18
公开号:CN119905177A
公开日期:2025-04-29
类型:发明专利
摘要
本发明涉及信号采集技术领域,公开了一种MEMS气体传感器阵列的信号采集方法及系统,该方法包括:将MEMS气体传感器阵列中多个传感单元同步采集的电阻值信号进行模数转换和温湿度补偿,得到补偿后的响应矩阵;进行快速傅里叶变换和动态特征提取,得到各传感单元的频域特征矩阵;进行传感单元串扰系数计算和响应分量解耦,得到解耦特征向量;进行希尔伯特变换和吸附‑解吸特性提取,得到气敏特征序列;输入自适应功率谱分析模型进行交叉敏感性识别处理,得到目标气体响应分量;进行自回归建模和气体浓度定量映射,得到目标气体浓度参数,本发明提高了目标气体检测和浓度定量分析的准确性。
技术关键词
气体传感器阵列 信号采集方法 MEMS气体传感器 串扰系数 频域特征 动态特征提取 序列 温湿度 敏感度矩阵 电阻值 参数 功率 递归最小二乘算法 高精度模数转换器 Kalman滤波 分段