一种适用车载高可靠性芯片的封装方法及封装结构

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一种适用车载高可靠性芯片的封装方法及封装结构
申请号:CN202510218540
申请日期:2025-02-26
公开号:CN119967920A
公开日期:2025-05-09
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种适用车载高可靠性芯片的封装方法,其既保留了黑胶的遮光效果,又不会有undercut,且解决了表面均匀性不好带来的可靠性失效。其特征在于:将第一感光膜组合到玻璃上,经过光刻制程形成围堰;然后,完成CIS晶圆键合、硅通孔刻蚀以及RDL制作;最后,在硅片表面再贴合一层符合厚度需求的第二感光膜作为阻焊层,经过光刻制程后再完成后制程TSV封装。
技术关键词
封装方法 光刻制程 围堰 芯片 封装结构 黑色 涂布 玻璃 硅片 介电层 黑胶 焊球 半成品 通孔 焊盘 外露 元素