摘要
本发明公开了一种用于测量大细长比微结构残余应力的方法,包括:采用聚焦离子束技术在样品表面刻蚀出矩形光栅,并同步标记X射线检测点;集成白光干涉仪沿螺旋轨迹扫描路径实时生成曲率变化曲线,并应用经验模态分解算法处理数据;利用六轴机器人控制系统补偿标记点位置偏移,调整X射线入射角适应翘曲表面几何并进行多角度应力检测;通过光栅‑X射线联合标定建立映射关系,利用插值算法生成二维应力分布图;根据光栅曲率稳定性和X射线衍射峰信噪比动态分配权重,输出三维残余应力云图,并标注高风险区域,有效提升对复杂形状材料的残余应力分析能力,提供了更加准确、全面的应力分布信息,有助于识别和预防潜在的材料失效问题。