具有到用于均匀栅格金属栅极和沟槽触点切口的链路的触点的集成电路结构

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具有到用于均匀栅格金属栅极和沟槽触点切口的链路的触点的集成电路结构
申请号:CN202510230505
申请日期:2025-02-28
公开号:CN120730819A
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
描述了具有到用于均匀栅格金属栅极和沟槽触点切口的链路的触点的集成电路结构。一种结构包括在栅极电极和导电沟槽触点之间的电介质侧壁间隔件。第一和第二平行电介质切口插塞结构延伸穿过栅极电极、穿过电介质侧壁间隔件、并穿过导电沟槽触点。所述第二电介质切口插塞具有与所述导电沟槽触点的第一部分和第二部分横向相邻的凹陷。导电链路位于所述第二电介质切口插塞结构的所述凹陷中,所述导电链路连接所述导电沟槽触点的所述第一部分和所述第二部分。导电过孔在所述导电链路上并且与所述导电沟槽触点的所述第一部分和所述第二部分重叠。
技术关键词
导电沟槽 插塞结构 栅极电极 集成电路结构 侧壁间隔件 链路 垂直堆叠体 横向间隔开 纳米线 沟槽触点 金属栅极 通信芯片 集成电路管芯 数字信号处理器 栅格 外延 显示器 相机