自动化FEM生成与Bossung曲线快速统计分析方法

本发明提供自动化FEM生成与Bossung曲线快速统计分析方法，涉及光刻工艺建模与自动化分析技术领域，包括光刻工艺数据处理系统，其特征在于：光刻工艺数据处理系统在构建时，融合数据输入模块、FEM模型生成模块、统计分析模块和结果输出和应用模块对工艺数据进行处理，本发明通过数据输入模块高效采集与预处理光刻工艺数据，为后续分析奠定可靠基础，统计分析模块的多元算法精准提取Bossung曲线关键参数，清晰呈现工艺参数与结果的关联，工程师无需依赖传统经验试错调整，依据科学量化分析结果即可快速准确优化光刻工艺参数，大幅提升工艺优化效率，减少因参数调整不当导致的生产延误。