一种便于洁净的硅片处理机器人

本发明提供一种便于洁净的硅片处理机器人，属于机器人技术领域，包含洁净箱，所述洁净箱的一边安设着行走臂，所述行走臂的中间为中空设置，所述行走臂中旋接着螺纹杆，所述螺纹杆的一边联结着马达X，所述螺纹杆上丝接着位移台且与的中空部分滑移联结，所述位移台上联结着联结架，所述联结架的两边都联结着两个电推杆。本发明解决了一般机器人配合的盛放架都是上面敞开，这样会让硅片在洁净期间不够稳固，不能执行一些加快洁净的动作，会使硅片偏移甚至和盛放架分离，还有硅片间的摆放间距不够，这样在洁净期间妨碍硅片的处理的问题。