一种基于视觉识别的石英表面缺陷检测方法

本发明公开了一种基于视觉识别的石英表面缺陷检测方法，包括如下步骤：S1、通过高分辨率相机对石英表面进行图像采集，对采集的图像进行预处理；S2、采用Canny边缘检测算法对图像进行边缘提取；S3、使用基于变分自编码器与能量引导机制的混合生成模型生成更多的缺陷图像；S4、结合生成的缺陷图像和真实图像，通过图像分割网络结合自注意力机制进行缺陷分类；S5、联合训练改进型变分自编码器和图像分割网络；S6、将缺陷的类别和缺陷的边缘信息实时反馈到生产线控制系统。本发明结合高分辨率图像采集技术、变分自编码器与图像分割网络，通过深度学习与传统图像处理方法的融合，实现了石英表面缺陷的自动化检测与精确分类。