一种测试图形的选取方法、模型生成方法及装置

本发明实施例提供了一种测试图形的选取方法、模型生成方法及装置，包括：获取测试版图；测试版图包括：至少一个候选测试图形；每个候选测试图形基于标签和预设检测框筛选后得到；标签用于标记预期对芯片进行测试的图形，预设检测框用于提供检测空间，以对存在标签的图形进行筛选；提取每个候选测试图形的特征，并基于候选测试图形的特征，确定候选测试图形的类别；特征用于描述候选测试图形的属性；在所确定的每类候选测试图形中，根据光学邻近校正模型的建模数据要求，选取出目标测试图形。本发明实施例提供的测试图形的选取方法可保证覆盖率的同时减少目标测试图形的数量，确保光学邻近校正模型的精度。