面向光学性能的大型非球面元件多轴数控机床关键几何误差辨识方法

本发明公开了一种面向光学性能的大型非球面元件多轴数控机床关键几何误差辨识方法。该方法以对刀点为关键节点建立面形误差模型，精准关联机床几何误差与面形误差，简化多误差耦合分析，实现针对性补偿及在线监测与实时修正。在此基础上，结合多体系统理论构建机床空间误差模型，利用光线追迹理论建立面形误差与波前像差的映射关系，通过Zernike多项式拟合波前像差，再借助主成分分析量化各几何误差对像差的贡献度，从而辨识出关键几何误差并实施补偿。本发明直接关联加工误差与最终光学性能，能提升大型非球面元件加工精度与性能品质。本发明适用于多轴数控机床加工大型复杂光学元件制造领域。