一种晶圆搬运机器人自动示教系统及方法

本发明公开了一种晶圆搬运机器人自动示教系统及方法，通过设置晶圆对准设备对晶圆进行初始定位；利用包含伸出轴、旋转轴及升降轴的晶圆运输机器人夹取晶圆，并配合位移传感模块对晶圆边缘进行多点检测；通过自动示教控制模块执行多轮速度递减策略，获取晶圆边缘的多个切点信息，采用最小二乘法拟合圆形边界，从而精确计算目标站点位置所对应的旋转轴和伸出轴参数。最终通过人机交互模块输入升降轴参数，完成整个站点的自动示教过程。本发明显著提高了站点参数获取的精度、一致性和效率，适用于多台设备间的一致化部署及设备位移后的快速重定位，提升了晶圆检测和搬运系统的稳定性与智能化水平。