用于芯片键合的光学对准装置及其对准方法

本发明涉及芯片键合技术领域，具体公开了一种用于芯片键合的光学对准装置及其对准方法，其中，装置包括：DUV激光器、第一镜组、第二镜组、内双向反射棱镜、第一DUV物镜、第二DUV物镜和成像组件；该装置通过引入DUV激光光源及配套DUV物镜，显著提升了系统的光学分辨率，满足高精度对准需求；同时，创新性地采用内双向反射棱镜结合两个DUV物镜构建双路光路结构，有效解决了上下表面的同时对准问题，提升了系统处理双面对准工况的适配性；并通过其成像组件对两路样品光信号进行同步采集，一次性获取晶圆和芯片的图像，彻底消除了时间漂移和运动因素对准精度的影响，从而在硬件层面保障了对准精度的全面提升。