摘要
本发明提供了一种多功能超导异质薄膜复合结构、器件及其制备方法，通过在衬底上依次原位生长制备第一层超导薄膜、电介质层薄膜、第二层超导薄膜、势垒层薄膜、第三层超导薄膜形成多功能超导异质薄膜复合结构。其中，第一层超导薄膜‑电介质层薄膜‑第二层超导薄膜结构可应用于制备平行板电容器，第二层超导薄膜‑势垒层薄膜‑第三层超导薄膜结构可应用于制备约瑟夫森结。在此基础上能够实现多种功能的超导电子器件。本发明通过磁控溅射法和化学气相沉积法实现多功能超导异质薄膜复合结构的制备，降低了设备成本，工艺稳定性高，且薄膜均匀性高、可加工性强，应用场景广泛。
