基于多模态数据融合的晶圆缺陷检测系统及方法

本发明公开了基于多模态数据融合的晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括多源数据采集单元、多物理场建模单元、晶圆集成检测单元和缺陷交互管理单元，通过采集多源检测数据、构建多物理场模型、晶圆缺陷检测与归因、交互展示和预警管理五个步骤，本发明通过多源数据采集单元提升数据采集的全面性与适应性，并通过多物理场建模单元精准刻画物理场与缺陷的关联性，再通过晶圆集成检测单元提高缺陷检测与归因的精度，进而通过缺陷交互管理单元实现全流程可视化与闭环工艺优化，将多模态数据融合的晶圆缺陷检测系统向高精度、低功耗、可解释的方向发展，为半导体行业的智能化升级提供核心支撑。