一种用于激光清洗的复合微透镜结构及其设计方法与应用

本发明涉及一种用于激光清洗的复合微透镜结构及其设计方法与应用。本发明所述复合微透镜结构包括设置在镜片一侧的宏曲率表面和设置在镜片同一侧或另一侧的微曲率阵列表面；所述宏曲率表面为柱面；所述微曲率阵列表面是由多个子柱面阵列而成的表面；本发明仅采用单个镜片，即可实现激光清洗所需的特定能量分布的线光斑整形匀化；微曲率阵列表面将输入光束分割为多个子光束，子光束发散后叠加，使输入激光能量分布由高斯分布或不规则分布调整为中心区域平顶分布、边缘逐渐弱化分布；具有紧凑化、轻量化的特点，可用于激光清洗智能机器人，实现高效率激光清洗。