一种精密气浮运动台误差实时补偿方法

本申请涉及精密气浮运动台技术领域，具体而言，涉及一种精密气浮运动台误差实时补偿方法。该方法包括深度学习动态预测算法：将节流孔区域的异常轨迹作为标签，将运动过程中的温度、节流孔区域的供气气压和负载电流作为输入，训练预测模型；在目标物沿着气浮运动台进行运动的过程中，检测当前温度、节流孔区域的当前供气气压和当前负载电流；并将检测到的数据输入到预测模型中，得到预测轨迹；计算预测轨迹与基准轨迹的差值；将所述不平度和差值的和作为误差，输入到比例‑积分‑微分控制方程中，得到所述节流孔区域的气压控制量，实现所述目标物的运动补偿。本申请可以实现准确、实时地进行运动误差补偿。