TMBS芯片的有源区元胞、TMBS芯片及电路结构

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TMBS芯片的有源区元胞、TMBS芯片及电路结构
申请号:CN202511193361
申请日期:2025-08-25
公开号:CN120730755A
公开日期:2025-09-30
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种TMBS芯片的有源区元胞、TMBS芯片及电路结构,涉及TMBS芯片技术领域。使用了沟槽型肖特基与MOS二极管并联结构,其中沟槽型肖特基的正向开启电压约0.4V左右,MOS二极管的开启电压约0.2V左右。当该二极管芯片正向偏置时,P型掺杂区靠近栅氧结构一侧会感生n型导电沟道,电子从漏极通过感生的n型导电沟道流向漏极,实现低电压优先开启,完美地解决了肖特基二极管开启电压相对偏高的问题,大大降低了二极管正向压降。而在正向大电流工况下,当正向压降大于0.4V时,与MOS二极管并联的肖特基二极管正向开启,进一步拓展了电流通路,增强过流能力,进而使芯片具有超低正向压降的特性。
技术关键词
沟槽结构 N型衬底 肖特基势垒 P型掺杂区 肖特基二极管 n型导电沟道 终端结构 沟槽型 大电流工况 多晶硅 阴极金属层 栅氧结构 二极管芯片 外延 钝化结构 阳极 并联结构