一种扇出型封装产品及封装方法

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一种扇出型封装产品及封装方法
申请号:CN202511198786
申请日期:2025-08-26
公开号:CN121034978A
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本发明公开了一种扇出型封装产品及封装方法,包括所述对待作业产品第一面进行线路层一制作,通过旋转涂布的方式涂布PI‑1层,再进行曝光显影并固化,在所述PI‑1层上制作开孔A,通过溅射工艺在所述PI‑1层上溅射金属种子层;通过旋转涂布的方式涂布光阻层,再进行曝光显影后制作开孔B,且在开孔A与开孔B处电镀金属层1M,将对应位置的光阻层去除后形成开孔C。本发明属于扇出型封装产品领域,具体是指一种扇出型封装产品及封装方法;本发明通过容易出现分层或开裂,影响散热路径的稳定性的问题。
技术关键词
封装方法 作业产品 涂布 线路 电容器 实心结构 扇出型封装结构 种子层 保护膜 光罩 玻璃 芯片 电镀 光刻胶 显影液 包封 晶圆 分层