一种基于多点位光学检测的三维结构缺陷检测装置及方法

本发明公开了一种基于多点位光学检测的三维结构缺陷检测装置及方法，涉及三维结构缺陷检测技术领域，一种基于多点位光学检测的三维结构缺陷检测方法的具体步骤包括：步骤一、根据实际的检测现场和待检目标布置光学探测头，设置模块参数，步骤二、驱动光路分时切换与同步采集，获取多点位干涉信号并记录参数，实现多区域数据采集，步骤三、对采集信号预处理及相干处理，提取深度信息并拼接层析图像，构建缺陷分析用图像，步骤四、采用图像处理算法对层析图像进行缺陷检测，生成包含缺陷信息及合格性判定的检测报告，本发明通过多通道切换与同步扫描探头配置，实现对产品多个表面及内部结构的高效成像、质量分析以及缺陷检测。