制造薄膜的系统与方法

申请号：CN202511216725

申请日期：2025-08-28

公开号：CN121031348A

公开日期：2025-11-28

类型：发明专利

摘要

一种制造薄膜的方法，包括以下步骤：通过处理器收集机台的数据；通过处理器执行机器学习演算法，以分析机台的数据与目标厚度，以产生对应机器学习演算法的沉积时间；以及通过处理器根据系数自沉积时间选择最佳沉积时间，其中系数对应机器学习演算法，以通过机台根据最佳沉积时间在晶圆上沉积薄膜，其中系数和机台的历史沉积时间与对应机器学习演算法的预测沉积时间的关系相关。通过上述制造薄膜的方法，达到降低制造薄膜的时间成本与档控片成本。

技术关键词

机台处理器薄膜互动按钮非线性回归模型数据执行机器学习服务器报告随机森林模型投票系统多层感知器关系界面信号