一种MEMS电场传感器的非线性高阶振动模态调制方法

本发明提供一种MEMS电场传感器的非线性高阶振动模态调制方法，涉及电场传感器技术领域。所述方法包括：构建MEMS电场传感器谐振结构的三维仿真模型，提取多阶模态的振型特征；根据各阶模态的振型特征，优化电场传感器中驱动电极与感应电极的结构及排布方式；对驱动电极施加与目标高阶模态相适配的交直流组合驱动电压，使电场传感器工作在目标高阶模态的Duffing非线性状态；采集感应信号并进行处理，计算性能指标：灵敏度、本底噪声和分辨力，对电场传感器性能进行评估。本发明通过驱动电场传感器在高阶模态下工作，并进入Duffing非线性响应区，实现对外加电场的高灵敏、高分辨力检测，同时有效抑制噪声。