一种石英喷嘴制备方法
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一种石英喷嘴制备方法
申请号:
CN202511223594
申请日期:
2025-08-29
公开号:
CN121018774A
公开日期:
2025-11-28
类型:
发明专利
摘要
本申请涉及芯片加工设备技术领域,且更为具体地,涉及一种用于芯片制程工艺上的石英喷嘴的制备方法,制备方法步骤如下:S1、对圆筒柱状空心原材料进行切割,形成半成品产品,其下料厚度为;S2、对半成品的两端面进行研磨,研磨厚度为;S3、对研磨后的半成品进行机加工;S4、对机加工后的半成品一次洗净处理;S5、对洗净后的半成品抛光;S6、对抛光后的半成品二次洗净处理,半成品形成成品;S7、对外观合格的成品进行包装;其中,mm,为单面厚度研磨量,为抛光余量,为成品厚度。
技术关键词
半成品
石英
芯片制程工艺
纯水
抛光刀具
金属刀具
硝酸
氢氟酸
水槽
机械抛光
单面
抛光液
螺旋
退火炉
柱状
圆筒
钻孔