一种测温器件的温度标定方法及系统

本发明涉及测温器件的检测领域，它涉及一种测温器件的温度标定方法及系统，该方法在自动化系统中执行，将待标定测温器件与参考温度器件共面固定于热传导衬底上；通过控温系统调节腔体温度至预设标定点，并执行热平衡动态判定；对已待标定测温器件施加至少两个不同幅值的偏置电流，采集对应的原始电压信号，并基于此通过外推算法计算出消除自热效应影响的零功率理论电阻值,采用与对应的参考温度T作为数据对，对电阻‑温度关系模型进行参数拟合，建立温度校正计算公式，建立合成不确定度评定模型，对各项不确定度来源进行分析与合成，计算并输出合成不确定度，本发明降低了因热应力或环境干扰导致标定失效的风险。