提高X射线光源束流通量及平行度的方法、装置及介质

本申请提供一种提高X射线光源束流通量及平行度的方法、装置及介质，方法包括：通过设置于X射线光源的出射端口的多毛细管准直镜，对X射线光源出射的扩散点进行收集与准直调制，形成初始调整线束；其中，扩散点光源采用掠入射的方式，进入至多毛细管准直镜；通过与多毛细管准直镜连接的五轴调节机构，调节多毛细管准直镜与X射线光源之间的姿态，使得初始调整线束被设置于多毛细管准直镜的出射口的探测器探测到；基于探测器所探测到的探测数据，协同调节五轴调节机构，改变初始调整线束的通量和平行度，使得输出的调整线束具有预设的通量和预设的平行度。采用上述方案，能够同时提升X射线源的通量及平行度，从而提升X射线检测效率及精度。