摘要
本发明涉及力传感器技术领域,公开一种六维力传感器,包括:安装座;内芯和盖板,盖板相对于内芯能够绕第一方向和第二方向旋转,带动内芯绕第三方向旋转,沿第一方向、第二方向及第三方向移动;第一转动连接组件;第一切向力力敏芯体,检测第一切向力;第二转动连接组件;第二切向力力敏芯体,检测第二切向力;第三切向力力敏芯体,检测第三切向力;传力件,套设在内芯上;第一方向力敏芯体,检测第一作用力;第二方向力敏芯体,检测第二作用力;第二传力件,固定在活动件上;第三方向力敏芯体,检测第三作用力。本发明公开的六维力传感器,改善了应变片式六维力传感器存在的检测精度低、抗蠕变能力差、频响低及温度漂移显著的缺点。