一种表面自清洁喷淋盘自动化喷涂装置

本发明公开了一种表面自清洁喷淋盘自动化喷涂装置，本发明涉及喷射装置技术领域，该喷涂装置包括箱体、总控模块、加热模块、搬运机械臂、涂显机构、旋转机构和夹持卡盘，箱体上设有柜门和转孔，涂显机构包括三轴位移模块和清理机构，清理机构包括底座，旋转机构包括底柱和驱动电机，柜门设有两组，总控模块、加热模块、搬运机械臂、三轴位移模块、底座、驱动电机均与箱体固定连接，夹持卡盘与搬运机械臂固定连接，底柱与转孔转动连接，加热模块、搬运机械臂、涂显机构、驱动电机均与总控模块通过电信号连接；本发明自动涂胶显影晶圆，显影液毫秒级内覆盖，避免线宽偏差和大液滴冲击晶圆破坏图形，避免显影斑点和彗星尾缺陷，提升晶圆制造精度。