一种基于多智能体框架的半导体晶圆制造仿真优化方法、系统、设备及介质

本发明涉及半导体制造技术领域，具体地说，涉及一种基于多智能体框架的半导体晶圆制造仿真优化方法、系统、设备及介质；通过构建多角色智能体，突破传统仅对设备和物料建模的局限，通过模拟人员行为及其对制造过程的影响，实现更真实的人机交互和人员协作模拟；通过动态仿真场景和事件，不断调整场景难度和事件复杂度，实现针对性训练；通过构建沟通协作模拟机制，模拟跨岗位沟通协议、信息流、协作机制及跨职能冲突场景，训练用户处理复杂沟通情境的能力，助力用户提升沟通协作能力；通过数字孪生接口实现虚拟与现实的连接，不仅具备培训功能，还能为实际生产提供优化支持，实现虚拟与现实的有机结合。