一种晶圆测试用针卡及调整方法

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一种晶圆测试用针卡及调整方法
申请号:CN202511310028
申请日期:2025-09-12
公开号:CN120801995A
公开日期:2025-10-17
类型:发明专利
摘要
本申请提供了一种晶圆测试用针卡及调整方法,晶圆测试用针卡包括基板、镜头和Z轴调整装置。基板包括垂直于基板表面的第一方向;镜头活动安装于基板上;Z轴调整装置连接于镜头和基板,用于沿第一方向驱动镜头移动以调节镜头和基板的相对位置。本申请的晶圆测试用针卡及调整方法,通过在测试用针卡内设置Z轴调整装置镜头的调整镜头和基板之间的相对位置,无需人工调整,提高调整的准确性和便利性。
技术关键词
基板 电磁铁 旋转驱动机构 晶圆 控制芯片 音圈马达 测试用针 驱动镜头 马达控制 Y轴 电流 输出端