一种晶圆测试用针卡及调整方法
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一种晶圆测试用针卡及调整方法
申请号:
CN202511310028
申请日期:
2025-09-12
公开号:
CN120801995A
公开日期:
2025-10-17
类型:
发明专利
摘要
本申请提供了一种晶圆测试用针卡及调整方法,晶圆测试用针卡包括基板、镜头和Z轴调整装置。基板包括垂直于基板表面的第一方向;镜头活动安装于基板上;Z轴调整装置连接于镜头和基板,用于沿第一方向驱动镜头移动以调节镜头和基板的相对位置。本申请的晶圆测试用针卡及调整方法,通过在测试用针卡内设置Z轴调整装置镜头的调整镜头和基板之间的相对位置,无需人工调整,提高调整的准确性和便利性。
技术关键词
基板
电磁铁
旋转驱动机构
晶圆
控制芯片
音圈马达
测试用针
驱动镜头
马达控制
Y轴
电流
输出端