基于图像区域差分的芯片表面瑕疵检测方法、设备及介质

本申请公开了一种基于图像区域差分的芯片表面瑕疵检测方法、设备及介质，涉及芯片表面瑕疵检测技术领域，该方法包括：获取待检测芯片对应的待检测区域和预设的标准参考区域；判断待检测区域和标准参考区域的差异是否大于第一预设值；若是，将待检测区域以单个像素为单位分别在前后左右四个方向移动预设像素，将移动后的待检测区域确定为目标检测区域，基于目标检测区域和标准参考区域进行芯片表面瑕疵检测操作，否则，基于待检测区域和标准参考区域进行芯片表面瑕疵检测操作。本申请用以解决现有技术中当芯片做模板的区域存在干扰或者芯片本身一致性差时，出现的瑕疵准确率低的问题，实现高效且精准的完成芯片表面的瑕疵检测。