基于物联网的单晶炉熔体液位非接触测量与闭环控制系统

本发明提供基于物联网的单晶炉熔体液位非接触测量与闭环控制系统，涉及单晶炉技术领域。包括：数据采集模块，用于采集单晶炉熔体的单晶炉数据，单晶炉数据包括：环境数据、设备状态数据、控制反馈数据；雷达测量模块，用于使用雷达测量单晶炉熔体的液位，得到初始液位；液位修正模块，用于构建液位修正模型，将初始液位输入修正模型，得到校正液位；闭环控制模块，设定目标液位范围，实时计算校正液位数据与目标液位的偏差值，判断偏差值是否超出预设的阈值，是则对单晶炉参数进行调整。通过多方位雷达安装、小波算法处理信号以及液位修正模型等手段，有效降低了这些干扰因素对测量精度的影响，提高了液位测量的准确性。