摘要
本发明属于应力测量装置技术领域,公开了一种芯片应力测量装置,其技术要点是:包括底板,所述底板四周分别固定安装有竖杆,多组竖杆顶端共同固定安装有顶板,多组竖杆共同滑动安装有横板,所述顶板表面固定安装有液压缸,所述横板底壁固定安装有竖筒,所述竖筒内腔设置有挡板,所述挡板底壁固定安装有挤压弹簧,所述竖筒内滑动安装有垫板,所述垫板底壁固定安装有压力传感器,所述压力传感器表面设置有挤压柱,所述底板表面设置有承载板,所述竖筒内设置有与挤压柱相互配合的防冲击机构,所述防冲击机构包括有卡接组件与调节组件,解决了目前挤压设备未及时停止时,挤压设备易对芯片持续进行挤压,芯片易折断崩碎损坏的问题。