摘要
本发明提供动态适应性多参数修调优化方法及系统,方法包括:通过相关性分析,得到高相关性参数组合;进行联合修调,得到联合修调参数组;根据联合修调参数组,设定搜索的初始顶点,进行初始修调码组合;对初始修调码组合,进行工艺偏差函数计算,求取顶点工艺偏差值并排序,得到排序结果;设计自适应搜索算法,基于数据驱动,拟合二次偏差函数,动态调整搜索起点,寻找最优的修调参数集,获取动态质心;根据排序结果和动态质心,进行反射、扩展、收缩操作,迭代搜索适用修调参数组合。本发明解决了修调过程中参数相互干扰、修调过程繁琐且时间消耗大、难以快速找到全局最优解以及缺乏动态适应性的技术问题。