数值孔径测量方法、设备及系统

本申请实施例提供一种数值孔径测量方法、设备及系统。该方法包括获取待测光学元件在多个位移点的位移量和功率值，多个位移点是待测光学元件基于预设步长移动至的位置点，预设步长小于或等于预设值，预设值是根据所述待测光学元件的光斑直径确定的，待测光学元件的移动方向与激光器发射光束的方向相平行，功率值为待测光学元件在对应位移点接收到的光束的功率值，根据多个位移点的位移量和功率值进行拟合计算，确定待测光学元件的目标数值孔径。本申请实施例提供的方法，通过基于小步长多步移动，采集多个位移点的功率值，进而通过拟合算法，准确计算待测光学元件的目标数值孔径，从而使得精度提升4倍，且支持实时中断。