减振方法、系统、半导体减振设备及存储介质

本发明公开了一种减振方法、系统、半导体减振设备及存储介质，该方法包括：获取减振平台的支撑腿的传感器数据；对支撑腿进行分组，并对每组支撑腿的传感器数据进行逻辑轴拟合，得到该组支撑腿的逻辑轴数据；对所有的逻辑轴数据进行再拟合，得到减振平台的整体逻辑轴数据，并根据整体逻辑轴数据对支撑腿进行减振处理，直至整体逻辑轴数据不大于预设的减振阈值；通过对传感器数据进行两次逻辑轴拟合，能够消除局部传感器数据的冗余干扰，充分利用逻辑轴的数学模型特性提升减振效率；以整体逻辑轴数据不大于预设的减振阈值为减振闭环控制条件，能够持续反馈并优化减振结果，确保减振效精度。