超高真空排气装置的密封检测方法

本申请提供了超高真空排气装置的密封检测方法，涉及密封检测技术领域，该方法包括：对超高真空排气装置进行泄漏风险特征挖掘，构建检测点位分布；对超高真空排气装置进行抽真空平稳检测，并根据平稳检测结果生成密封检测启动信号；根据检测点位分布和氦质谱检漏仪对超高真空排气装置进行密封检测，获得装置密封检测第一结果；对装置密封检测第一结果进行检测背景干扰修正、喷氦交叉影响补偿和材料氦吸附校正，生成装置密封检测第四结果。通过本申请解决了由于存在多种干扰因素，容易出现误判、漏判，导致密封检测精度不足的技术问题，通过真空平稳后进行检测，并对检测结果进行修正，提升超高真空排气装置的密封检测效果。