一种集成机器人与视觉识别的半导体刻蚀机台

本申请公开了一种集成机器人与视觉识别的半导体刻蚀机台，涉及半导体刻蚀技术领域，包括机台本体以及视觉识别装置；机台本体设有刻蚀腔室；刻蚀腔室中安装有机器人本体；刻蚀腔室中设有至少一个刻蚀槽以及至少一个烘干槽；视觉识别装置安装于机台本体，用于采集加工工件或工件载具的表面图像信息；机器人本体能够将加工工件或工件载具运送至视觉识别装置的采集视野中，或能够带动视觉识别装置运动以使得其采集端朝向加工工件或工件载具。通过上述设计，可以实现原位检测，提升了工艺效率和可靠性。