一种用于三FA耦合的吸夹模块

本发明涉及芯片加工的技术领域，特别是涉及一种用于三FA耦合的吸夹模块，包括支撑架组件，还包括一号夹持吸取组件、二号夹持吸取组件和三号夹持吸取组件，所述一号夹持吸取组件、二号夹持吸取组件和三号夹持吸取组件分别安装在支撑架组件上；其使用过程中，支撑架组件通过外部移动机构进行移动，从而使一号夹持吸取组件、二号夹持吸取组件和三号夹持吸取组件相互配合并且分别对一组光线阵列进行夹持和吸取，通过对芯片夹持和吸取提高抓取牢固性，实现了三个FA分别与芯片耦合，并且实现每次耦合互相不干扰，提高加工效率。