进出料线体、固晶机及进出料方法

本发明涉及半导体固晶设备技术领域，具体公开了进出料线体、固晶机及进出料方法。该进出料线体包括依次设置的第一区域、若干第二区域、第三区域和第四区域；第一区域内，第一传送件用于接收供料单元输出的基板，第一传送件能带动基板向下一区域移动，第一阻挡单元选择性阻挡基板移动至下一区域；第二区域内，第二传送件能带动基板向上一区域和下一区域移动，第二阻挡单元选择性阻挡基板移动至上一区域；第三区域内，第三传送件用于带动基板向下一区域移动，第三阻挡单元选择性阻挡基板移动至下一区域；第四区域的第四传送件用于带动基板传送出进出料线体。该进出料线体有序处理批量基板，精确控制基板传送节奏和位置，提高传输效率和流畅性。